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[期刊论文] 作者:江锋,王立燕,吴凌祎,, 来源:电子与封装 年份:2006
引进的俄罗斯TM-1201溅射台,经过在生产过程中结合现状不断革新改进、工艺技术上精雕细啄,从而使该设备长期保持良好的运行状态。薄膜的质量、膜厚均匀性也得到显著提高,并能满......
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