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[会议论文] 作者：吴孝干,陈伯良,
来源：上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会 年份：2004
本文简要介绍了上海市用于半导体和其它器件上光学和红外镀膜的高品位氧化物材料的性能指标和生产状况,以及其它常用镀膜材料的性能规格.也简述了珍稀贵重的新型镀膜材料的发展前景.......
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