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[会议论文] 作者：吴志国[1]张广安[2]范晓彦[2]王明旭[2]王君[2]闫鹏勋[3],
来源：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛 年份：2006
采用柱状靶直流磁控溅射制备了Al、AlN薄膜和Al/AlN多层膜.Al单组分膜呈现很强的(111)衍射峰,AlN相在单层膜中呈现(100)的择优取向,而在多层膜样品中为(002)的择优取向,同时...
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