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[会议论文] 作者：蔡博丞,呂福興,
来源：2016年台湾陶瓷学会年会 年份：2016
本研究是以非平衡直流磁控濺鍍法利用空氣做為反應性氣體製備氮氧化鈦(TiNxOy)薄膜並探討其特性,分別以矽晶片、ITO 玻璃和玻璃做為基材製備,藉由調控空氣比例成功製備出具不同特性之TiNxOy 薄膜.以空氣取代傳統氮/氧混合氣體做為反應性氣體,在高背景壓力(低真......
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