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[会议论文] 作者：周斯卡,王晓强,李浩川,黄秋实,蒋励,张众,朱京涛,王占山,
来源：长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会 年份：2011
本文研究通过在Mg/Si多层膜引入Mo或SiC阻隔层的界面工程法来提高多层膜的光学性能。采用磁控溅射法镀制多层膜，X射线和极紫外反射法表征多层膜。测试结果表明，引入双层SiC阻隔层的Mg/SiC/Si/SiC多层膜与Mg/Si相比，界面质量和光学性能都有了极大的提高，在30nm处10度......
[期刊论文] 作者：蒋励,王晓强,谭默言,黄秋实,李浩川,周斯卡,朱京涛,王占山,,
来源：强激光与粒子束 年份：2011
研究了极紫外波段的双功能光学元件。采用周期膜叠加的思想,运用遗传方法优化设计了在19.5 nm处高反,在30.4 nm处抑制的双功能多层膜。采用磁控溅射技术制备了多层膜,利用X射...
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