搜索筛选:
搜索耗时2.1973秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 3 篇相符的论文内容
发布年度:
[学位论文] 作者:周智猛,,
来源:大连理工大学 年份:2003
GaN,作为第三代半导体材料,因为其优良的特性,日益成为研究的重点,在微电子和光电子领域具有十分广阔的应用优势和发展前景。 本论文隶属于国家自然科学基金(自组装GaN量子点......
[期刊论文] 作者:周智猛,徐茵,刘国涛,
来源:计算机测量与控制 年份:2003
文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点.在此基础上,为实验室的ECR-MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统, 介绍了系统的硬件结构以及在WIN98环境下用VB6.0实...
[期刊论文] 作者:刘国涛,徐茵,顾彪,秦福文,周智猛,
来源:半导体光电 年份:2003
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺特点,在此基础上尝试了一种新的氮化方法处理衬底表面,并进行了一系列不同条件下的对比试验,以反射高能电子衍射(RHEED)和...
相关搜索: