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[学位论文] 作者：周智猛,,
来源：大连理工大学 年份：2003
GaN，作为第三代半导体材料，因为其优良的特性，日益成为研究的重点，在微电子和光电子领域具有十分广阔的应用优势和发展前景。 本论文隶属于国家自然科学基金(自组装GaN量子点......
[期刊论文] 作者：周智猛,徐茵,刘国涛,
来源：计算机测量与控制 年份：2003
文章分析了半导体薄膜生长工艺流程的特点.在此基础上,为实验室的ECR-MOCVD设备设计了一套半导体薄膜生长的实时监控系统, 介绍了系统的硬件结构以及在WIN98环境下用VB6.0实...
[期刊论文] 作者：刘国涛,徐茵,顾彪,秦福文,周智猛,
来源：半导体光电 年份：2003
分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺特点,在此基础上尝试了一种新的氮化方法处理衬底表面,并进行了一系列不同条件下的对比试验,以反射高能电子衍射(RHEED)和...
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