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[学位论文] 作者：周紫卓,
来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 年份：2009
随着微波毫米波集成电路工作频率的不断升高，硅衬底的高频传输损耗急剧恶化。通过研究新材料、探索新工艺降低硅基电路的高频损耗具有十分重要的意义和应用前景。本文以新型材......
[期刊论文] 作者：周紫卓,王伟,谈惠祖,孙晓玮,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
本文结合功能材料Al2O3和BCB（苯并环丁烯树脂）的特点，创新性地提出了Si／Al2O3／BCB多层薄膜复合结构的衬底，利用Al2O3高介电常数的优点和BCB薄膜工艺制备厚度的灵活性实现了低传输损......
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