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[学位论文] 作者：周闵新,,
来源： 年份：2006
硅微机械加工压力传感器是MEMS的重要研究领域之一,在汽车系统、工业控制、环境监控和测量以及生物医疗诊断等众多领域有着广泛的应用。电容式压力传感器是硅微压力传感器的...
[学位论文] 作者：周闵新,
来源：东南大学 年份：2003
传感器作为电子电路与外面环境的接口部分,具有重要的作用.压力传感器是一种重要的传感器,在工业控制领域以及大气探测领域有着重要的应用.用硅技术加工制作压力传感器是利用...
[期刊论文] 作者：周闵新,秦明,黄庆安,
来源：微纳电子技术 年份：2003
在MEMS表面加工工艺中,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分.本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围,建立多晶硅膜的大变形模型,设计可用于压力传感器应用的...
[期刊论文] 作者：周闵新,秦明,黄庆安,
来源：仪表技术与传感器 年份：2001
CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产.介绍了传感器的原理、结构及处理电路,并对微系统集成的概念及...
[会议论文] 作者：周闵新;黄庆安;秦明;,
来源：第八届敏感元件与传感器学术会议 年份：2003
微电子机械系统(MEMS)或微系统(MICROSYSTEM)成为继集成电路设计之后微电子领域新的发展方向.传感器作为外界与内部处理电路的接口,已经成为微系统的重要组成部分.将传感器部...
[期刊论文] 作者：彭韶华,周闵新,秦明,黄庆安,
来源：传感器技术 年份：2003
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度...
[期刊论文] 作者：刘娜,黄庆安,秦明,周闵新,
来源：半导体学报 年份：2005
在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性能产生的影响.结果表明温度的改变会导致残余气体压力的改变,进而使传感器的测量产生一定的温度漂移,同时也降低了传感器的灵敏度;......
[期刊论文] 作者：齐云祥,王春媛,王爱梅,周闵新,,
来源：新生儿科杂志 年份：1987
随着Dinamap血压自动监护仪和非损伤性颅内压监护仪的问世,对新生儿血压和心率以及颅内压值测定已更加科学和准确。这对新生儿的监护和危重症抢救都极为有利。我院儿科于198...
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