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[学位论文] 作者:唐晓骁,, 来源:南京航空航天大学 年份:2013
在化学机械研磨抛光(CMP)行业,固结磨料研磨抛光垫(FAP)由于诸多优势成为该领域的研究热点,为了不断提高加工效率,改善加工效果,人们开展了关于FAP性能评价的研究。本文利用砂浆磨损......
[期刊论文] 作者:朱永伟,付杰,居志兰,唐晓骁,李军,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2013
为研究材料特性对亲水性固结磨料研磨垫的加工性能影响,本文研究了K9玻璃和硅片两种材料在不同加工顺序下研磨过程中的声发射信号和摩擦系数特征,采用扫描电镜分析磨屑的尺寸...
[期刊论文] 作者:唐晓骁,朱永伟,付杰,王成,居志兰,, 来源:金刚石与磨料磨具工程 年份:2012
通过向亲水性固结磨料抛光垫中添加铜粉,改善抛光垫的抛光性能,研究铜粉添加量对抛光垫的理化特性及加工K9光学玻璃的材料去除率和工件表面质量的影响。结果表明:随着铜粉添...
[期刊论文] 作者:唐晓骁,朱永伟,王成,顾勇兵,居志兰,李军,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2014
亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的自修整过程影响着其加工性能的稳定性.采用亲水性树脂和铜粉制备固结磨料研磨垫,研究研磨液中添加不同含量三乙醇胺对树脂基体砂浆磨损率及研磨...
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