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[学位论文] 作者：唐泓炜,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2020
随着微加工和微系统技术的发展,表面微/纳米结构广泛应用于各种功能微系统的制备,因此在半导体、玻璃、陶瓷等各种难加工材料上高效制备高质量的微/纳米结构显得尤为重要。目前,微结构的制备方法主要是精密机械加工、微细电火花加工、光刻和激光加工等。相比较......
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