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[期刊论文] 作者：喻宪辉,
来源：交通职业教育 年份：2007
湖北交通职业技术学院道路与桥梁工程系主任陈方晔教授获“湖北名师”称号。9月7日，陈方晔教授参加湖北省优秀教师代表座谈会暨教育系统先进个人表彰大会，省领导向他颁发了“湖......
[会议论文] 作者：汪建华,喻宪辉,邱钦崇,
来源：中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会 年份：1998
研制了一种高速率溅射的ECR等离子体装置。微波经过一段真空波导管，以反常波模式耦合输入共振腔，腔内溅射靶由平面靶和订状靶组成，圆筒状靶后面加了铁环，装置的这种设计方法使常......
[会议论文] 作者：汪建华[1]喻宪辉[2]邱钦崇[3],
来源：中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会 年份：1998
研制了一种高速率溅射的ECR等离子体装置。微波经过一段真空波导管，以反常波模式耦合输入共振腔，腔内溅射靶由平面靶和订状靶组成，圆筒状靶后面加了铁环，装置的这种设计方法使常......
[期刊论文] 作者：汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏,喻宪辉,
来源：半导体技术 年份：1999
将磁控管方式溅射用于微波ＥＣＲ等离子体沉积技术。在低气压和低温下沉积了高度Ｃ轴取向的ＺｎＯ薄膜，其膜的沉积速率比普通ＥＣＲ溅射中所得到的速率大得多，并且在Φ１２ｃｍ的膜区域内显示出良好的均匀性......
[期刊论文] 作者：汪建华,袁润章,沈克明,施昌勇,喻宪辉,
来源：武汉工业大学学报 年份：1999
ZnO薄膜可以具有压电性和透光导电性两种不同性质，取决制备中的不同沉积条件。本文介绍采用微波电子回旋共振（ECR）等离子体反应溅射制备ZnO薄膜的实验装置和方法。在氢气流量是4......
[期刊论文] 作者：汪建华,袁润章,喻宪辉,邬钦崇,任兆杏,
来源：武汉工业大学学报 年份：1998
微波电子回旋共振（delectroncyclotronresonance．ECR）等离子体溅射法是能在低温下制备高质量薄膜的最新镀膜技术．在该技术中，微波输入窗口易受金属粒子污染，导致微波在窗口反射，从而......
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