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[学位论文] 作者:夏俊宇,
来源:华中科技大学 年份:2023
基于双光子吸收效应的激光直写技术在复杂微纳三维结构加工方面具有独到的优势,其无需相位掩模板,能够超越光学衍射极限的高加工精度以及能够在任意基面加工任意结构的高加工自由度使得其在传统微光学元器件、微流控器件、微机械器件、集成光子芯片以及生物医学......
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