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[学位论文] 作者：夏禹豪,,
来源：武汉工程大学 年份：2019
本文采用微波等离子体化学气相沉积法,研究了氮气浓度对等离子体基团以及单晶金刚石生长速率、生长质量、表面形貌以及应力等方面的影响。具体研究内容包括以下两个方面:1、在保持其他参数不变的条件下,采用等离子体发射光谱、激光拉曼光谱等测试技术,研究不同......
[期刊论文] 作者：耿传文,马志斌,夏禹豪,李艳春,衡凡,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2018
利用微波等离子体化学气相沉积法在CH4/H2反应气体中引入不同低浓度氮气条件下,研究氮气对单晶金刚石生长质量的影响.利用发射光谱、拉曼光谱以及扫描电子显微镜对单晶金刚石...
[期刊论文] 作者：夏禹豪, 李艳春, 耿传文, 李方辉, 马志斌,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2018
在波导耦合的微波等离子体化学气相沉积制备金刚石的装置中引入双基片台结构,用光谱仪测量等离子体的发射光谱,用Raman光谱仪和SEM分析生长的单晶金刚石的Raman位移和表面形...
[期刊论文] 作者：夏禹豪, 耿传文, 衡凡, 李方辉, 马志斌,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2018
在微波等离子体化学气相沉积法同质外延生长单晶金刚石的过程中添加不同浓度的氮气,利用发射光谱、拉曼光谱等测试手段探究不同浓度氮气对等离子体以及单晶金刚石生长质量和...
[期刊论文] 作者：丁康俊, 马志斌, 宋修曦, 夏禹豪, 耿传文,,
来源：金刚石与磨料磨具工程 年份：2018
利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在含有缺陷的单晶金刚石种晶上进行同质外延生长实验,在其他沉积参数保持相同的情况下,研究温度对生长的单晶金刚石缺陷的影响。通过...
[期刊论文] 作者：李艳春, 马志斌, 耿传文, 夏禹豪, 李方辉, 衡凡,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2004
微波等离子体化学气相沉积装置用于制备纳米金刚石膜和纳米金刚石真空窗口,气源为H2、CH4、Ar和少量O2。扫描电镜、拉曼光谱、X射线衍射仪、原子力显微镜用于表征和分析纳米...
[期刊论文] 作者：耿传文,夏禹豪,赵洪阳,付秋明,马志斌,
来源：物理学报 年份：2018
利用微波等离子体化学气相沉积法,对单晶金刚石(100)晶面边缘进行精细切割抛光处理,形成偏离(100)晶面不同角度的倾斜面,在CH4/H2反应气体中进行同质外延生长,研究单晶金刚石...
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