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[学位论文] 作者：夏舒仪,
来源：中国科学院大学 年份：2017
光刻是半导体制造工艺中最为重要的步骤之一，它决定了整个集成电路工艺的技术水平，而投影物镜是光刻机的重要组成部分，直接影响到光刻机成像质量、光刻分辨率以及关键尺寸均匀性......
[期刊论文] 作者：夏舒仪,李兵,张清洋,韩晓泉,,
来源：国外电子测量技术 年份：2017
投影物镜是光刻机的重要组成部分,直接影响光刻技术指标,因此投影物镜波像差是光刻机中关键的检测指标之一。横向剪切干涉是重要的波像差检测方法,根据横向剪切原理,设计了高...
[期刊论文] 作者：左佳靓,朱津苇,肖润民,夏舒仪,王晓琳,李梅,
来源：实验室科学 年份：2020
高校实验教学中应注重培养学生的自主意识和创新能力。以“蚕豆根尖微核实验”为例,针对传统实验教学模式所面临的问题,在“环境毒理学”实验教学实践中提出“基础型实验-自...
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