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[期刊论文] 作者：伊藤纠次,饶德祥,田村英男,大久保靖,
来源：半导体学报 年份：1981
目前,离子注入技术虽已相当广泛地用于半导体器件的科研和生产中,然而离子注入造成的晶格损伤的恢复和注入杂质的高效率激活方法却还留下一些有待研究的课题.其中,脉冲电子束...
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