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[学位论文] 作者:姚喜国,,
来源:浙江理工大学 年份:2011
近年来,随着微电子、超精密加工等高新技术的迅速发展,对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求。本论文依托于“激光合成波长纳米位...
[期刊论文] 作者:魏若飞,严利平,姚喜国,杨涛,陈本永,,
来源:浙江理工大学学报 年份:2011
对激光合成波长干涉仪的准直方法进行研究。提出采用四象限探测器实现激光合成波长干涉仪的准直方法,描述激光合成波长干涉仪的准直原理与信号处理方法;对参考角锥棱镜进行准...
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