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[学位论文] 作者：姚长呈,,
来源：中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 年份：2016
深紫外光刻机是现阶段极大规模集成电路制造业的主流关键设备,国内正开展工作波段193nm的90nm分辨率光刻机的自主研制。对于193nm波段的激光,所有材料都具有不可忽视的吸收率...
[期刊论文] 作者：姚长呈,巩岩,,
来源：中国激光 年份：2016
透镜材料对激光能量的吸收导致深紫外光刻投影物镜温度升高,产生热像差。离轴照明模式下,温度呈非对称分布,研究温度场对热像差的仿真预测和补偿具有十分重要的意义。提出了...
[期刊论文] 作者：姚长呈,巩岩,,
来源：光学学报 年份：2016
高精度光刻投影物镜在工作过程中吸收激光能量产生热像差,在离轴照明模式(如偶极照明)下,热像散显著且随时间变化,传统的被动光学方法无法补偿此类像差。提出在折射式光刻投...
[期刊论文] 作者：贾树强,黄玮,徐象如,姚长呈,,
来源：光学学报 年份：2016
针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了反射镜的受力模型,定性分析了径向预紧力对...
[期刊论文] 作者：廖家胜,巩岩,张巍,李晶,李春才,姚长呈,闵林,
来源：光学学报 年份：2014
针对长程轮廓仪中的一个重要光学部件分束器，设计了一种菲涅耳双棱镜对分束结构。其功能是将一束正入射平行光分成两束间距可变、强度相等且光程差为零的平行光。对菲涅耳双棱镜对结构特点进行了详细的描述，并对基于菲涅耳双棱镜对分出的两束光在傅里叶透镜后焦面......
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