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[会议论文] 作者：蔡旭阳,姜友松,宋亦周,
来源：2013年广东省真空学会学术年会 年份：2013
近年来，光学薄膜市场对离子辅助蒸镀装置不断有更高的要求。包括镀膜装置的大型化，高速化，以提高产能。另外，如何提高膜材利用率，以及降低能耗，降低生产运行成本，达到环保的效果......
Effect of oxygen flow rate on the properties of SiO_x films deposited by reactive magnetron sputteri
[期刊论文] 作者：赖发春,李明,王海千,姜友松,宋亦周,
来源：Chinese Optics Letters 年份：2005
SiOx (x = 0 - 2) films were deposited on BK-7 substrates by a low frequency reactive magnetron sputtering system with the oxygen flow rate (OFR) changing from 0...
[期刊论文] 作者：宋秋明, 黄烽, 李明, 谢斌, 王海千, 姜友松, 宋亦周,
来源：中国激光 年份：2004
梳状滤光片是一种特殊的非均匀光学薄膜器件,其膜层折射率渐变分布结构使它与常规均匀光学薄膜相比具有更好的光学和机械性能。利用反应磁控溅射工艺,改变沉积SiO_x(0≤x≤2)...
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