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[学位论文] 作者:姜岩秀,, 来源:中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 年份:2015
平面变栅距光栅因为具有自聚焦、像差校正以及平焦场的特性,因此适用于极紫外和软X射线波段的高分辨能力的掠入射单色器。平面变栅距光栅的刻槽分布决定了其消像差能力,其相...
[期刊论文] 作者:李文昊, 姜岩秀, 吴娜, 张桐, 王鹍,, 来源:发光学报 年份:2015
针对应用于50~150 nm波段的变栅距光栅,采用球面波曝光系统进行优化设计,分析了不同宽度光栅的刻槽密度变化和光谱分辨能力。理论分析结果表明,光栅宽度为4 mm时,理论分辨能...
[期刊论文] 作者:姜岩秀,韩建,李文昊,巴音贺希格,, 来源:中国光学 年份:2015
分光器件是全息光栅曝光系统中的关键光学元件,它将入射激光光束分成两束,两相干光束叠加后形成干涉条纹。曝光系统的稳定性不但影响干涉条纹对比度,还影响光栅衍射波前像差...
[期刊论文] 作者:赵美红,王新宇,姜岩秀,杨硕,李文昊, 来源:光学精密工程 年份:2020
为了在系统结构简单的前提下实现凸面光栅成像光谱仪的大相对孔径、高分辨率成像、轻小型化以及系统的易加工装调,优化设计了一种基于变间距凸面光栅的消像差凸面光栅成像光...
[期刊论文] 作者:姜岩秀,巴音贺希格,赵旭龙,杨硕,吴娜,, 来源:光学精密工程 年份:2015
针对极紫外波段自由电子激光器(大连相干光源,DCLS)对高分辨能力平面变栅距光栅的需求,基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅。采用改进的局部优化算法给出了......
[期刊论文] 作者:宋莹,赵旭龙,姜岩秀,巴音贺希格,齐向东, 来源:中国激光 年份:2017
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度,抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移,提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅实现光源激光的分光及干涉条纹的相位调整。通过叠栅条纹间接测量干涉条纹相位变化,给出了双光电探测器的最佳探测位置。结合分光及......
[期刊论文] 作者:赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,姜岩秀,杨硕,, 来源:光学学报 年份:2016
为了兼顾光源聚焦镜引入的像差对光谱仪器分辨率和信噪比的影响,提出了消像差凹面全息光栅和聚焦反射镜一体化设计方法。建立了包含聚焦镜和凹面全息光栅的像差分析物理模型,...
[期刊论文] 作者:姜岩秀,巴音贺希格,杨硕,赵旭龙,吴娜,李文昊,, 来源:光谱学与光谱分析 年份:2016
为制作应用于在线诊断光谱仪的高分辨率光栅,通过分析记录参数误差对光栅刻线密度、聚焦曲线、谱像宽度等的影响及规律,提出相应的补偿方法是必要前提。基于费马原理、光程差...
[期刊论文] 作者:赵旭龙,巴音贺希格,李文昊,姜岩秀,吴娜,张桐,, 来源:光谱学与光谱分析 年份:2017
为了降低紫外高分辨率罗兰光栅的像散对光谱像高展宽的影响,提出了在罗兰圆上使用球面波非对称曝光设计思路。推导完全校正离焦和子午彗差的表达式,讨论了多种罗兰光栅记录结...
[期刊论文] 作者:姜岩秀, 巴音贺希格, 杨硕, 赵旭龙, 李文昊, 吴娜,, 来源:光学学报 年份:2015
为制作应用于极紫外波段(50~150 nm)的变栅距全息光栅,提出了一种新的应用于球面波曝光系统的优化算法,即改进的局部优化算法。根据仪器使用要求构建了期望刻线密度函数,并以...
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