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[学位论文] 作者：姜翰钦,,
来源：浙江大学 年份：2008
快速热处理(Rapid thermal processing,RTP)技术已经广泛用于集成电路的制造。近十年来,国际著名的硅材料供应商—美国的MEMC公司提出了一种基于RTP的所谓的“魔幻洁净区”(M...
[期刊论文] 作者：姜翰钦,马向阳,杨德仁,阙端麟,,
来源：半导体学报 年份：2008
研究了普通直拉(CZ)硅单晶和掺氮直拉(NCZ)硅单晶在氩气氛下进行1250℃/50s的快速热处理(RTP)后,再经600～1000℃的不同温区内的缓慢升温处理和1000℃保温处理后的氧沉淀行为....
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