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[期刊论文] 作者：胡骏鹏,林源,张桂升,黄东妹,子学勤,
来源：微电子学与计算机 年份：1982
一、前言复盖在半导体表面的氧化层是器件和集成电路的一个组成部分,器件和集成电路的质量优劣,很大程度上取决于SiO_2—Si界面的质量状况,因此,半导体表面状态的良好控制,...
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