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[期刊论文] 作者：高航涛,陈伟健,孙可轩,赖莉飞,
来源：宁波工程学院学报 年份：2021
为了提高埋入式薄膜电阻材料的电性能和降低其因吸光而产生的热量,采用反应磁控溅射技术开展对NiCrOx埋入式薄膜电阻材料的制备和性能研究,主要探究氧气流量对薄膜的微观结构、方阻值、电阻温度系数和透过率的影响.研究结果表明:氧气流量可影响NiCrOx薄膜的微观......
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