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[期刊论文] 作者：欧欣,陈静,武爱民,孙家胤,,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
本文在采用键合工艺制备以硅为衬底的氮化镓发光二极管的工艺过程中分别尝试采用金-金,金-硅,铝-铝,铝-硅键合对。研究发现金-金键合对得到了100%的键合面积。键合工艺结束后...
[期刊论文] 作者：欧欣,陈静,武爱民,孙家胤,
来源：功能材料与器件学报 年份：2010
本文在采用键合工艺制备以硅为衬底的氮化镓发光二极管的工艺过程中分别尝试采用金-金，金-硅，铝-铝，铝-硅键合对。研究发现金-金键合对得到了100％的键合面积。键合工艺结束后，采用......
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