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[学位论文] 作者：孙殿竣,,
来源：上海交通大学 年份：2004
微机械电子系统(MEMS)是包括了微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等的微型系统,MEMS技术是一门新兴的高科技前沿技术,其充分体现了各个学科领域交叉融合,在...
[期刊论文] 作者：孙殿竣,张卫平,唐健,邢亚亮,欧彬,刘朝阳,,
来源：仪表技术与传感器 年份：2017
MEMS（micro-electro-mechanical system）微型陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点,MEMS微半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,文中分析了微半球谐振陀螺的工...
[期刊论文] 作者：邢亚亮,张卫平,唐健,孙殿竣,刘朝阳,欧彬,,
来源：压电与声光 年份：2017
该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球...
[期刊论文] 作者：刘亚东,张卫平,唐健,汪濙海,邢亚亮,孙殿竣,,
来源：半导体光电 年份：2016
在硅的各向同性湿法刻蚀过程中,一般选用HNA溶液(即氢氟酸、硝酸和乙酸的混合溶液)作为刻蚀液,而氮化硅以其很好的耐刻蚀性而优先被选为顶层掩膜材料。在硅片上刻蚀不同的结...
[期刊论文] 作者：赵万良,成宇翔,孙殿竣,唐健,刘朝阳,欧彬,张卫平,,
来源：半导体光电 年份：2017
微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给...
[期刊论文] 作者：汪濙海,张卫平,孙殿竣,唐健,成宇翔,刘亚东,邢亚亮,,
来源：现代电子技术 年份：2016
提出了一种压电半球谐振陀螺的数字检测方法。该检测方法基于Cyclone IV FPGA开发板,结合AD9226的A/D采样功能和Matlab的数字信号处理能力,实现了对采用压电效应、柯氏效应的...
[期刊论文] 作者：朱甲强,张卫平,唐健,邢亚亮,孙殿竣,吴校生,崔峰,刘武,成宇翔,赵万良,,
来源：半导体光电 年份：2017
提出了一种新型的基于阳极键合的硅微圆盘多环谐振陀螺的结构设计及其制作方法。该种陀螺采用MEMS工艺制作而成,基底材料为肖特BF33玻璃,电极和谐振器均由单晶硅片加工而成,...
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