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[期刊论文] 作者:郝道欣,程嘉,季林红,孙钰淳,, 来源:半导体学报 年份:2012
The characteristics of cold plasma,especially for a dual-frequency capacitively coupled plasma(CCP), play an important role for plasma enhanced chemical vapor d...
[期刊论文] 作者:孙钰淳, 程嘉, 路益嘉, 季林红, 王春财,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2004
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食Back to yield...
[期刊论文] 作者:孙钰淳, 程嘉, 路益嘉, 侯悦民, 季林红,, 来源:清华大学学报(自然科学版) 年份:2004
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[期刊论文] 作者:孙钰淳,程嘉,路益嘉,侯悦民,季林红,, 来源:Journal of Semiconductors 年份:2015
One of the core semiconductor devices is the electrostatic chuck.It has been widely used in plasmabased and vacuum-based semiconductor processing.The electrosta...
[期刊论文] 作者:王春财,程嘉,季林红,路益嘉,孙钰淳,林嘉,, 来源:清华大学学报(自然科学版) 年份:2015
传统的直接模拟Monte Carlo(DSMC)程序以直角网格为基础,在计算复杂的流动边界时不可避免地会带来一定误差。非结构网格虽然能够贴体地适应任何复杂流动边界,但因其拓扑结构...
[期刊论文] 作者:王兴阔, 程嘉, 王珂晟, 杨义勇, 孙钰淳, 曹明路, 季林红, 来源:null 年份:2014
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