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[期刊论文] 作者：宋业生 陈士英,
来源：科技资讯 年份：2012
摘 要：本文研究了金属电极结构和工艺对SiC光导开关寿命的影响。SiC光导开关采用钒掺杂的半绝缘6H-SiC基片，以Ti/Al/Ti/Au为接触电极，以重掺杂n+-GaN薄膜为次接触层。电极结构具有不同的参数，且所经过的退火温度也不同。开关寿命测试实验表明：退火温度对SiC光导开关......
[期刊论文] 作者：杨汇鑫,宋业生,陈士英,,
来源：科技创新导报 年份：2013
大功率SiC光导开关存在接触电阻过高、接触退化的问题。为此,在接触金属与SiC基片之间增加一层n＋-GaN次接触层,光导开关的导通电阻随之下降两个数量级,而光电流效率增加两个数...
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