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[期刊论文] 作者：王浩,宋胤江,李效东,金东杓,,
来源：中国科学E辑:技术科学 年份：2006
采用毛细管微模塑技术和转移微模塑技术,以硅片为栽片,以图案化聚二甲基硅氧烷(PDMS)弹性体为模板,以聚碳硅烷(PCS)和聚硅氮烷(PSZ)为先驱体,经过先驱体的渗入、先驱体的交联...
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