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[期刊论文] 作者：姚尧,方忠慧,周江,李伟,马忠元,徐骏,黄信凡,陈坤基,宫本恭幸,小田俊理,,
来源：物理学报 年份：2008
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅...
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