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[期刊论文] 作者：温连健,尚宗峰,吴慈刚,,
来源：半导体技术 年份：2015
以GaN为代表的Ⅲ族氮化物在微电子、光电子和传感器等领域均发挥了重要作用。但是由于大尺寸的单晶GaN衬底仍无法实现,目前绝大多数氮化物材料都是通过异质外延的方式来实现,...
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