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[会议论文] 作者:左芬[1]陈磊[2], 来源:第三届全国光学技术交流会 年份:2007
移相干涉测量技术是一种众所周知的非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围。环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许...
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