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[期刊论文] 作者:胡晓磊,张丰,任瑜,平少栋, 来源:上海计量测试 年份:2022
基于某测量现场已构建的三维坐标空间标准场,布设多站位的激光跟踪仪进行标准场参考点测量数据的采集,设计数据评估方案,并利用多源数据融合软件进行多站位测量数据的融合,利用评估方案来评估标准场参考点的可靠性.由对比分析可知,标准场中型架参考点各分量偏差......
[期刊论文] 作者:平少栋,傅云霞,张丰,任瑜,孔明, 来源:红外与激光工程 年份:2021
为了解决镜面反射式激光跟踪干涉测长方法在不同尺寸长度标准溯源中缺乏有效的误差分析,测量效率低等问题,文中研究了平面镜调节分辨率、平面度引入的长度测量误差,并给出了针对不同长度的平面镜角度调节允许范围.建立了镜面反射式激光跟踪干涉测长模型,分析了......
[期刊论文] 作者:杜黎明,管钰晴,孔明,平少栋,谢张宁,雷李华,傅云霞, 来源:微纳电子技术 年份:2021
基于双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪系统的薄膜厚度测量方法,通过膜厚比对分析对椭偏仪进行能力认证,实现纳米薄膜的高精度测量研究.设计了一套复合型膜厚标准样片,采用多种仪器测量其膜厚并对测量结果进行有效比对,给出相应的不确定度评定方法,研究了纳米薄膜厚度......
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