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[学位论文] 作者：庄须叶,
来源：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 年份：2004
论文从满足微型生化分析对高灵敏度光纤消逝场生化传感器的要求出发，针对现有传感器的灵敏度低、传感光纤表面质量差、使用寿命短等问题，对高灵敏度光纤消逝场传感器的相关理论......
[期刊论文] 作者：郝鹏,吴一辉,庄须叶,,
来源：传感技术学报 年份：2008
针对光纤SPR（表面等离子体共振）传感器制作工艺复杂的问题,提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法。依据电磁场和射线理论,分析并讨论了此种波长调制部分镀膜......
[会议论文] 作者：庄须叶,田鹏,邓勇刚,
来源：第四届无损检测高等教育发展论坛暨电磁超声无损检测技术交流会 年份：2011
快速发现并定位管道泄漏对管道运输的安全至关重要，开发永久的、分布式、实时在线的管道检测传感系统是管道安全检测的重要目标。光纤传感技术具有体积小、灵敏度高、耐酸碱腐蚀、抗电磁干扰能力强、不产生电火花等优点，在管道检测中得到了广泛的应用。介绍了应用......
[期刊论文] 作者：张佳宁, 李平华, 庄须叶,
来源：电子测量与仪器学报 年份：2020
为充分挖掘MEMS陀螺的性能，提高MEMS陀螺在实际应用中的精度，通过搭建四陀螺阵列结合改进的Sage-Husa滤波算法对陀螺阵列的输出信号进行降噪，在不改变陀螺加工工艺和显著提高生产成本的条件下有效提高了MEMS陀螺仪的实际性能。通过分析MEMS陀螺仪的系统误差和随机......
[期刊论文] 作者：庄须叶,吴一辉,王淑荣,宣明,,
来源：光学精密工程 年份：2008
为提高D形光纤消逝场传感器的灵敏度并改进制作工艺，对D形光纤的结构和制作方法进行了研究。通过加大D形光纤的研磨深度，增大了传感器的有效探测面积，并使消逝场能量可以直接与......
[期刊论文] 作者：王文婧,黄斌,陈璞,庄须叶,
来源：集成电路通讯 年份：2013
针对湿法腐蚀加速度计悬臂梁时出现的梁厚度不均匀性问题，采取项层硅可定制的SOI材料制作出梁厚度均匀性一致的器件；采用干法刻蚀工艺减小结构开窗面积提高了产量。针对干法刻......
[期刊论文] 作者：罗吉,庄须叶,倪祖高,姚军,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
对光纤消逝场理论进行了详细分析,阐述了影响光纤消逝场传感器灵敏度的一些关键因素,并对几种常见的光纤消逝场传感光纤的优缺点进行了比较,主要包括圆柱形、D形、U形、锥形...
[期刊论文] 作者：邓勇刚,田鹏,吴传军,庄须叶,,
来源：石油矿场机械 年份：2011
钻机起升滑轮在受力和地球磁场的共同作用下,应力集中区域和缺陷表面会产生微弱的磁场泄漏现象,这种微弱的漏磁场具有定向和不可逆的特性,且不会因为外界受力的消除而消失。...
[期刊论文] 作者：张恒,姚军,庄须叶,陶逢刚,汪为民,,
来源：微纳电子技术 年份：2011
采用MEMS技术设计和制造了一种由梳齿驱动器驱动的新型交叉梳齿光栅,同时优化了该光栅的驱动器结构,着重分析了优化驱动器结构对光栅机械特性和光学传感特性的影响,优化后的...
[会议论文] 作者：庄须叶[1]田鹏[2]邓勇刚[3],
来源：第四届无损检测高等教育发展论坛暨电磁超声无损检测技术交流会 年份：2011
快速发现并定位管道泄漏对管道运输的安全至关重要，开发永久的、分布式、实时在线的管道检测传感系统是管道安全检测的重要目标。光纤传感技术具有体积小、灵敏度高、耐酸......
[期刊论文] 作者：庄须叶, 王世和, 李平华, 吕东锋,,
来源：导航与控制 年份：2004
因低噪声、高性能、无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、航天领域内的最佳导航陀螺。半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,全球各研究单位设计了多种形态的谐振器结构...
[期刊论文] 作者：庄须叶,汪为民,陶逢刚,姚军,高福华,,
来源：光学精密工程 年份：2011
为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜。倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜...
[期刊论文] 作者：易剑,江南,庄须叶,郭述文,张军安,
来源：微纳电子技术 年份：2018
提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提...
[期刊论文] 作者：姚军,陶逢刚,任豪,汪为民,庄须叶,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2004
设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式....
[期刊论文] 作者：庄须叶,丁景兵,曹卫达,吴梦茹,,
来源：导航与控制 年份：2019
半球深腔的加工质量是决定硅基MEMS半球陀螺精度的关键因素之一,及时检测半球深腔的形貌参数并将其反馈至加工过程,是确保高性能MEMS半球陀螺研制成功的重要措施.由于硅半球...
[期刊论文] 作者：姚军,陶逢刚,任豪,汪为民,庄须叶,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2012
设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分:中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面(上电极).该变形镜有两种驱动模式:向下驱动模式和向上驱动模式....
[会议论文] 作者：庄须叶,汪为民,颜胜美,姚军,高福华,
来源：2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会 年份：2010
传统二维倾斜镜的转轴是正交的，本文基于硅表面加工工艺设计并制作了转轴非正交的二维MEMS倾斜镜。倾斜镜的上电极由一梁非对称的固定在基底上，上下电极成插齿状分布，二者在......
[期刊论文] 作者：庄须叶,吴一辉,王淑荣,张平,刘永顺,,
来源：物理学报 年份：2009
用硅光刻工艺和二氧化硅湿法腐蚀工艺制作了针状封装结构的光纤消逝场传感器.该结构的传感器体积小、试剂消耗量少,减轻了测量过程中光纤的变形,密封的结构可以有效地防止传...
[期刊论文] 作者：陈奥运,凤瑞,庄须叶,徐大诚,郭述文,,
来源：传感技术学报 年份：2017
轮式角振动陀螺气体阻尼效应是影响其动态特性的主要因素。在充分研究轮式角振动陀螺结构特征的基础上,创建了角振动陀螺驱动模态滑膜阻尼数学解析模型,并给出了改进解析模型...
[期刊论文] 作者：范玉,吴一辉,宣明,张平,周连群,庄须叶,,
来源：光学精密工程 年份：2009
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵...
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