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[期刊论文] 作者：应龙法,
来源：仪器与未来 年份：1991
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[期刊论文] 作者：应龙法,
来源：仪器与未来 年份：1989
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[期刊论文] 作者：应龙法,
来源：真空科学与技术 年份：1986
石英晶体振荡膜厚监控仪是真空镀膜时对薄膜厚度增长进行动态监控的仪器。它可配备在真空电阻蒸发源以及电子束蒸发源的镀膜机上,用来监控金属膜、半导体膜和介质膜的厚度变...
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