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[学位论文] 作者：廉腾宇,
来源：华侨大学 年份：2020
金刚石因其超高硬度、高热导率及大禁带宽度等特性,在刀具、光电等很多领域都有着不可替代的作用。尤其是在光电领域的应用要求金刚石表面光滑且亚表面无损伤。而天然金刚石和人造金刚石在生产过程中很难控制其表面粗糙度,因此,需要对金刚石衬底进行加工以制备......
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