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[期刊论文] 作者：W.D.Munzger,廖燕南,
来源：真空 年份：1982
一、概述 对各种不同用途的模制衬底镀复氮化钛,一直是近几年来的研制课题。这种技术的应用尤其在工具精整技术上,例如钻头、铣刀和双面圆盘刀的镀复等方面有了较大进展。最...
[期刊论文] 作者：廖燕南,叶粳,,
来源：电子管技术 年份：1983
在真空中淀积金属膜和介电质膜是真空技术的重要应用之一。这种真空淀积技术叫做“PVD”方法(物理汽相淀积法)。PVD方法中,最初采用的是热蒸发,其后是采用各种离子镀复,目前...
[期刊论文] 作者：许镜明,廖燕南,
来源：四川真空 年份：1989
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[期刊论文] 作者：陈文浩,廖燕南,
来源：真空 年份：1981
离子刻蚀是利用众所周知的阴极溅射效应对表面进行选择性的剥离加工。由于轰击粒子小和离子刻蚀过程的计量极为精确,因此,用这种方法加工表面,使表面溶解深度在单原子层范围...
[期刊论文] 作者：西田典秀,廖燕南,
来源：四川真空 年份：1989
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