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[会议论文] 作者:张代生;贾锐;陈晨;张巍;邢钊;, 来源:第13届中国光伏大会 年份:2013
本文系统研究了扩散时间、N2流量对硼盐酸扩散的影响.不同扩散时间的实验表明,使用这种方法对n型硅片进行扩散,只需要通过调节扩散的时间即可得到不同方块电阻的结;调节N2流...
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