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[会议论文] 作者：张兴旺[1]严辉[2]王波[2]路永刚[1]陈光华[2],
来源：第三届中国功能材料及其应用学术会议 年份：1998
用射频溅射的方法通过衬底上加负偏压在硅衬底上成功制备出高立方相含量的氮化硼薄膜，傅立叶变换红外谱的分析表明，沉积薄膜由立方氮化硼、六方氮化硼和三氧化二硼3种成分组成......
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