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[会议论文] 作者：张受业;王正铎;陈强;刘忠伟;刘福平;,
来源：第十三届全国包装工程学术会议 年份：2010
本文介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积方法在连续（Roll-to-Roll）系统中于有机薄膜PET表面沉积纳米SiOx高阻隔薄膜的工艺。实验研究了放电功率和镀膜速度对所沉积薄膜的阻隔...
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