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[期刊论文] 作者：张家坚,
来源：稀有金属 年份：1992
阐述了硅片的结构特性、电学特性、化学特性及机械性能等表征硅片质量水平的参数对IC工艺控制参数的影响,总结了制造IC对硅片特性的要求。同时讨论了硅片的“吸杂”应用问题,...
[期刊论文] 作者：张家坚,,
来源：南充师院学报(哲学社会科学版) 年份：1987
郁达夫是“为艺术派”创造社小说创作的代表作家之一,也是创造社散文创作代表作家之一。六十多年来,对他的小说创作、旧诗词、游记,以及生平思想,作了不少研究,但在一千...
[会议论文] 作者：张家坚,
来源：中国有色金属学会硅材料学术会议 年份：1990
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[期刊论文] 作者：张家坚,
来源：稀有金属 年份：1992
阐述了硅片的结构特性、电学特性、化学特性及机械性能等表征硅片质量水平的参数对IC工艺控制参数的影响,总结了制造IC对硅片特性的要求。同时讨论了硅片的“吸杂”应用问题,...
[会议论文] 作者：王自筠, 邹子英, 张家坚,,
来源： 年份：2004
HgCdTe红外探测器广泛用于航天和军事领域。HgCdTe晶体是制造这种红外探测器的基体材料,其结构完整性将直接影响器件的性能和合格率。该课题利用金相显微图像处理与分析...
[会议论文] 作者：邹子英,闵靖,张家坚,胡晓宁,
来源：全国计量测试学术大会 年份：1998
利用剥层分析技术对已知失效的ＨｇＣｄＴｅ光导探测器进行逆向分析，研究了器件制造过程中主要工艺引入的相关缺陷以及形貌，寻找器件失效原因，并分析了工艺损伤与器件电性能的关系。......
[会议论文] 作者：张克明,闵靖,邹子英,张家坚,
来源：全国计量测试学术大会 年份：1998
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[会议论文] 作者：胡晓宁,张家坚,闵靖,邹子英,
来源：全国计量测试学术大会 年份：1998
利用剥层分析技术对已知失效的ＨｇＣｄＴｅ光导探测器进行逆向分析，研究了器件制造过程中主要工艺引入的相关缺陷以及形貌，寻找器件失效原因，并分析了工艺损伤与器件电性能的关系。......
[会议论文] 作者：张家坚,邹子英,闵靖,张克明,
来源：全国计量测试学术大会 年份：1998
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[期刊论文] 作者：王自筠,邹子英,张家坚, 李言谨,
来源：功能材料与器件学报 年份：1995
使用装有超微显微硬度测试仪的扫描电子显微镜，对不同取向的ＨｇＣｄＴｅ晶片施加负荷，负荷压力从２克～０．０５克。由于晶体具有各向异性，在相同压力下，不同取向的ＨｇＣｄＴｅ晶片中引起的损伤有明显差异，实验得到损......
[期刊论文] 作者：张家坚,王俊杰,李学博,严诗蕴,张永达,,
来源：上海金属.有色分册 年份：1982
在模拟器件工艺用“OS”法检测CZ硅单晶中旋涡缺陷时,常有雾状缺陷的干扰。本文对雾状缺陷的分布形态及产生原因作了初步研究。为了消除这种干扰,提出了硅片经1100℃水汽氧化...
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