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[会议论文] 作者：张广英[1]吴爱民[1]秦福文[2]公发全[3]姜辛;,
来源：第11届全国固体薄膜会议 年份：2008
利用电子回旋共振-等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术,以氮气为等离子体气源,硅烷为前驱气体在玻璃衬底上低温沉积了氮化硅薄膜.采用偏振光椭圆率测量仪、原子力显微...
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