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[学位论文] 作者:张弥涛, 来源:海南大学 年份:2018
[期刊论文] 作者:李晔纯,张弥涛,李明,郭艳, 来源:中小企业管理与科技 年份:2021
典型加热方式的反应腔已逐渐难以满足硅片尺寸增大、装片量要求增多情况下的生产需要,论文提出在反应腔中内置辅助加热装置,并进行对比实验分析其对工艺的影响。实验结果显示,辅助加热装置在缩短升温时间、提升设备产能的情况下,得到更优氮化硅成膜均匀性指标,......
[期刊论文] 作者:成秋云,张弥涛,吴德轶,李明,, 来源:制造技术与机床 年份:2016
为探索超声波喷丸成形技术对带孔板铝合金的单曲率喷丸成形效果,通过对喷丸成形后带孔板的成形曲率半径和成形缺陷进行研究,分析了带孔板的喷丸成形特点;构建了带孔板喷丸成...
[期刊论文] 作者:龙辉, 邹臻峰, 吴志明, 张弥涛, 田安, 来源:太阳能 年份:2022
210 mm大尺寸硅片已成为光伏行业的发展主流,但相比158 mm、166 mm的硅片,对采用210 mm大尺寸硅片的晶体硅太阳电池扩散工艺的研究尚处于探索阶段。研究了炉尾温度、工艺压力、进气口与石英舟端板距离、快速降温等因素对210 mm大尺寸硅片在低压扩散工艺后的方阻及......
[期刊论文] 作者:张春成, 李明, 黄嘉斌, 张弥涛, 李晔纯, 来源:光源与照明 年份:2022
文章针对采用ALD氧化铝+PECVD氮化硅背钝化路线的PERC太阳电池制备过程中,ALD单面沉积氧化铝时伴随的绕镀问题,采用PECVD法,在相对较低的反应腔体温度下,利用等离子体轰击,重点去除硅片边缘绕镀的氧化铝,而后利用同次工艺后段氮化硅沉积时的退火作用修复轰击造成的损......
[期刊论文] 作者:张弥涛, 闫汝真, 陈振斌, 周继军, 陈迅晓,, 来源:昆明理工大学学报(自然科学版) 年份:2015
横向稳定杆是汽车悬架中的重要结构部件,当其疲劳断裂发生时将会严重危害车辆行驶的安全性.为解决某公司一款新车型开发试验中横向稳定杆发生断裂的问题,首先通过有限元分析...
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