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[期刊论文] 作者：张志群 任瑞,
来源：装备维修技术 年份：2020
摘要： 本文介绍了溅射镀膜的概念、使用溅射镀膜的优点与特性、半导体行业上运用。从溅射镀膜知识切入点谈论了溅射的离子、溅射阈值、溅射率，溅射在肖特基二极管制造工艺上的运用。 关键词：溅射;磁控溅射;靶材;溅射特性;肖特基二极管 1基本概念 1.1所谓......
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