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[期刊论文] 作者：张桂樵,
来源：电子材料（机电部） 年份：1991
...
[期刊论文] 作者：Borl.,JO,张桂樵,
来源：微电子学与计算机 年份：1992
本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。...
[期刊论文] 作者：Kear.,KM,张桂樵,
来源：微电子学与计算机 年份：1990
许多年来VLSI 设计中的“十进规则”一直支配着允许的最大颗粒尺寸,例如对1.5μm 的设计,要求其颗粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 说“为了消除致命的缺陷,随着半导体...
[期刊论文] 作者：Kathleen M.Kearney,张桂樵,
来源：微电子学与计算机 年份：1990
许多年来VLSI 设计中的“十进规则”一直支配着允许的最大颗粒尺寸,例如对1.5μm 的设计,要求其颗粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 说“为了消除致命的缺陷,随着半导体器件...
[期刊论文] 作者：John O.Borlandael Beinglass,张桂樵,
来源：微电子学与计算机 年份：1992
本文介绍了兆位器件制造的一个重要工艺SSD(选择性硅淀积)及其在多方面的应用。This article describes an important process for the fabrication of megabit devices, t...
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