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[学位论文] 作者:张楷亮,,
来源: 年份:2006
集成电路发展至0.25微米工艺之后,唯一可以实现全局平坦化的化学机械抛光(CMP)已成为IC制程的关键工艺之一。更小特征尺寸工艺时代的发展对抛光液及抛光工艺应用技术提出苛刻...
[学位论文] 作者:张楷亮,
来源:河北工业大学 年份:2001
该文通过对环氧树脂-蒙脱石体系的研究,一方面提高复合材料的性能,拓宽环氧树脂的应用领域;另一方面研究了环氧树脂-蒙脱石纳米复合材料的形成机理,为聚合物-蒙脱石纳米复合...
[期刊论文] 作者:张楷亮,
来源:求知 年份:2021
大学科技园是国家创新体系的重要组成部分和自主创新的重要基地,建设高水平大学科技园对促进高校资源集成与开放、服务科技成果转化、促进科技与经济融合发展具有重要的战略意义。对此,天津市先后出台《天津市科技创新三年行动计划(2020—2022年)》《天津市人民政府......
[期刊论文] 作者:张楷亮,王立新,
来源:河北化工 年份:2000
高吸水性树脂是一种新型功能高分子材料,具有优异的性能和广泛的用途。综述了高吸水性树脂的制备及其结构和吸水机理,并介绍了高吸水性树脂的应用,讨论了高吸水性树脂的研究方向......
[期刊论文] 作者:张楷亮,王立新,
来源:中国塑料 年份:2001
采用有机蒙脱石改性环氧树脂,利用插层复合技术制备出了纳米级的环氧树脂/蒙脱石复合材料;测试了其力学性能和热性能。并通过X射线衍射(XRD)、动态力学性能测试(DMA)等手段研究了复......
[期刊论文] 作者:王立新,张楷亮,
来源:河北工业大学学报 年份:2000
研究了合成环氧树脂/蒙脱石纳米复合材料所需的有机蒙脱石的制备及有机蒙脱石与液态环氧树脂的浸润行为。通过一系列脂肪胺与蒙脱石进行阳离子交换反应,优化了制备有机蒙脱石的......
[期刊论文] 作者:张楷亮,宋志棠,,
来源:技术与市场 年份:2008
随着半导体工业的飞速发展,化学机械抛光(CMP)渐成为集成电路制造中的一项关键工艺,其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品,长期以来国内主要硅材料厂及半导体元件厂依...
[期刊论文] 作者:洪奕,王立新,张楷亮,
来源:材料导报 年份:2001
聚酰亚胺/无机物纳米复合材料是一种性能优异的新型复合材料.概述了该材料的形成机理、制备方法及材料的结构和性能....
[期刊论文] 作者:张楷亮,王芳,王立新,
来源:粘接 年份:2002
利用长链的有机阳离子改性天然蒙脱石,制备出有机蒙脱石,用于改性环氧树脂.在有机蒙脱石低含量范围,环氧树脂有机蒙脱石复合物的触变性得到了显著改善;同时将固化产物的热降...
[期刊论文] 作者:苏飞,张楷亮,裴小兵,
来源:教育现代化 年份:2020
摘 要:TRIZ是对250万份高水平发明专利的研究、分析、归纳总结而萃取发明家智慧凝练出来的发明方法论,它使创新思维从发散走向收敛。本文首先介绍TRIZ创新的基本思想,及矛盾矩......
[期刊论文] 作者:张楷亮,刘玉岭,王芳,
来源:微纳电子技术 年份:2003
简要回顾了半导体电子器件由真空电子管到固体晶体管,直至纳米电子器件的发展历程.分别比较了不同的半导体电子器件的材料、理论和所采用的制备技术.在此基础上综述了当前较...
[期刊论文] 作者:许旺,张楷亮,杨保和,,
来源:半导体技术 年份:2009
多孔低介电常数的介质引入硅半导体器件给传统的化学机械抛光(CMP)技术带来了巨大的挑战,低k介质的脆弱性难以承受传统CMP技术所施加的机械力。一种结合了电化学和机械平坦化技......
[期刊论文] 作者:张楷亮, 宋志棠, 封松林,
来源:微电子学 年份:2005
...
[期刊论文] 作者:张楷亮, 王立新, 张文林, 洪奕,,
来源:河北化工 年份:2004
高吸水性树脂是一种新型功能高分子材料 ,具有优异的性能和广泛的用途。综述了高吸水性树脂的制备及其结构和吸水机理 ,并介绍了高吸水性树脂的应用 ,讨论了高吸水性树脂的研...
[期刊论文] 作者:张楷亮,王芳,王立新,任丽,
来源:化学与粘合 年份:2004
以甲基四氢酸酐为固化剂,对环氧树脂/蒙脱石纳米复合材料的合成进行了研究,并对其微观结构进行了表征;此外为进一步优化酸酐固化环氧树脂的工艺条件,本文采用DSC法对其固化动...
[期刊论文] 作者:王立新,袁金凤,洪奕,张楷亮,
来源:高分子材料科学与工程 年份:2002
研究了UP/Na-MMT纳米复合材料的制备与性能,并考察了插层剂种类、有机蒙脱土加入量及离子交换量对复合材料性能的影响.结果表明,UP/Na-MMT纳米复合材料的XRD曲线中蒙脱土晶体...
[期刊论文] 作者:张楷亮,王立新,袁金凤,任丽,
来源:塑料工业 年份:2001
介绍以有机蒙脱石作为增强组分的环氧树脂纳米复合材料的制备及其性能表征。结果表明,十六胺处理的蒙脱石层离以1~100nm尺度分散于环氧树脂基体中,复合材料的物性得到提高,当蒙脱......
[期刊论文] 作者:张楷亮,王立新,王芳,任丽,
来源:复合材料学报 年份:2004
以甲基四氢酸酐为固化剂,对含羟基长链烷基季铵盐改性蒙脱土-环氧树脂纳米复合材料的制备进行了研究.通过TEM、SEM、TGA和DMA等对其微观结构、热性能和动态力学性能等进行表...
[期刊论文] 作者:王立新,袁金凤,张楷亮,任丽,
来源:河北工业大学学报 年份:2000
通过离子交换反应用十六胺对粘土进行改性处理,再用处理土与环氧树脂(E-51) 进行纳米复合制备了环氧树脂/粘土纳米复合材料.讨论了影响材料形成的各种因素,并使 用TGA、XRD、TEM等手段对其结构和......
[会议论文] 作者:张楷亮,宋志棠,刘玉岭,
来源:上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会 年份:2004
本文对硅单晶材料到抛光片的关键加工工艺:切割、磨片、化学机械抛光、清洗等工序进行了分析,并对相应的工艺化学品进行研究和应用.研究表明工艺过程中适当增强化学作用可以降低机械损伤、减少机械和热应力导致的缺陷,提高硅片质量和成品率,尤其是清洗工艺中特......
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