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[学位论文] 作者:张纪稳,, 来源:安徽大学 年份:2016
随着微电子工业遵循摩尔定律的不断发展,集成电路集成度不断提高,器件尺寸不断缩小,在这种趋势下,先前使用的传统高K栅介质SiO2层会减小到原子尺寸,漏流会急剧增加,从而导致...
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