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[期刊论文] 作者：司明奇,温智琳,张齐进,窦银萍,李博超,宋晓伟,谢卓,林景全,
来源：物理学报 年份：2020
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首.高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分.本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO2靶对极紫外光源以及其离带热辐射进行研究.实验结果表明,两种......
[期刊论文] 作者：司明奇,温智琳,张齐进,窦银萍,李博超,宋晓伟,谢卓,林景全,
来源：物理学报 年份：2020
极紫外光刻技术是我国当前面临35项“卡脖子”关键核心技术之首．高极紫外光转换效率和低离带热辐射的激光等离子体极紫外光源是极紫外光刻系统的重要组成部分．本文通过采用激光作用固体Sn和低密度SnO2靶对极紫外光源以及其离带热辐射进行研究．实验结果表明，两种形式......
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