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[学位论文] 作者：彭正一,
来源：华侨大学 年份：2020
半导体作为电子行业发展的基石,应用领域包括消费电子、通信、交通载具、机器人、医疗检测设备、光伏发电等场景。作为一种精密超精密加工方式,固结磨料研磨抛光技术被广泛应用在半导体的减薄和抛光工序上。固结磨料研磨工具作为研磨抛光技术的重要消耗品,由于......
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