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[学位论文] 作者：彭自求,,
来源： 年份：2011
微测辐射热计型非制冷红外探测器由于其便携性好、成本低和卓越的性能等优点,近年来成为红外探测器研究中的热点。然而,传统单牺牲层器件填充率的提高和器件的热学性能的提升...
[期刊论文] 作者：彭自求,王军,袁凯,蒋亚东,,
来源：电子器件 年份：2010
研究了利用AZ5214光刻胶图形反转实现抗腐蚀金属NiCr剥离的关键工艺步骤,该方法可以用于制备金属电极,进而优化器件性能。理论上讨论了图形反转的形成机理,根据Dill理论对光...
[期刊论文] 作者：彭自求,王军,袁凯,蒋亚东,,
来源：电子器件 年份：2010
通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以...
[期刊论文] 作者：彭自求,王军,袁凯,何峰,蒋亚东,,
来源：微处理机 年份：2010
微机电系统（Micro Electromechanical System,MEMS）作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展。牺牲层技术是MEMS应用的关键。介绍了光敏性聚酰亚胺作为牺牲层材料...
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