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[会议论文] 作者：徐晔;蔡珣;陈秋龙;沈耀;,
来源：第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛 年份：2006
在利用磁控溅射方法制备Ti-Si-N膜的过程中,反应气体中氮气的分压是一个重要的参数.本文采用钛-硅复合靶,在不同氮气分压下制得了一系列Ti-Si-N膜,并借助能谱仪(EDS)、X射线...
[期刊论文] 作者：徐晔,蔡珣,陈秋龙,沈耀,李刘合,,
来源：新技术新工艺 年份：2006
随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高，Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺...
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