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[期刊论文] 作者:郑巍,徐毓娴, 来源:机器人 年份:1999
微器件装配技术是微机械的关键技术之一,本文从微器件装配系统的特性和功能出发,提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案,并对系统各个组成部分进行分析,介绍了系统实现的方法......
[期刊论文] 作者:薛实福,徐毓娴, 来源:光学精密工程 年份:1997
分析了现有的AFM力传感器的工艺特点及问题,在此基础上研究用KOH溶液两步法P+自停止腐蚀制作厚度精确可控的单昌硅悬梁;以SiO2为掩模,SF6刻蚀硅,用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次......
[期刊论文] 作者:徐毓娴,白立芬, 来源:实验技术与管理 年份:1997
齿轮传动系统精度测试是配合《精密机械设计》课程所开设的教学实验。精密齿轮传动系统广泛应用在各种仪器、仪表及精密机构中,随着现代工业生产及科学技术的迅速发展,...
[期刊论文] 作者:徐毓娴,赵长德, 来源:汽车工程 年份:1999
本文介绍微型集成加顺的原理,结构,伺服电路组成和基本性能,说明了它的典型应用,特别指出它在汽车性能测试中的广阔应用前景。...
[期刊论文] 作者:徐毓娴,白立芬, 来源:机械传动 年份:2000
介绍了圆光栅测量齿轮传动系统精度的原理、系统组成和各部分作用,对速比为15的减速系统进行了实测并对测量结果做了傅立叶分析,发现了1次、5次和15次谐波。结果说明最后一对齿轮对传......
[期刊论文] 作者:薛实福,徐毓娴, 来源:电子工业专用设备 年份:1994
薄膜厚度测量是VLSI生产工艺中不可缺少的重要工序,也是保证产品质量提高生产效率的重要手段。采用显微镜-全息凹面光栅-CCD-微机处理的测量系统具有结构简单工作可靠的特点。本文介绍了......
[期刊论文] 作者:许谊,徐毓娴,蔡明, 来源:仪器仪表学报 年份:2001
[期刊论文] 作者:赵长德,徐毓娴, 来源:仪表技术与传感器 年份:1998
本文概述单片伺服加速度计的原理和基本结构,伺服电路的组成和特点,并介绍了AD公司生产的单片加速度计的性能指标和应用电路,以及信号调节的方法。给出了部分实验数据,最后说明了该......
[期刊论文] 作者:董小满,徐毓娴,惠梅, 来源:仪器仪表学报 年份:2002
相移干涉技术在表面形貌定量测量中得到广泛应用,其中相移算法是影响相位测量精度的关键之一.分析比较了常用四种算法:四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法原理...
[会议论文] 作者:许谊,徐毓娴,蔡昕, 来源:中国仪器仪表学会第三届青年学术会议 年份:2001
本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果.证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像...
[期刊论文] 作者:徐毓娴,蔡昕,张志利, 来源:光学精密工程 年份:2001
介绍了改进型Wollaston棱镜的特点、主要参数及基于这些参数对光学系统结构的设计公式。应用Matlab软件自编程序对分束角ε与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间,相干平面倾角η与棱...
[期刊论文] 作者:李文江,徐毓娴,董小满, 来源:光学技术 年份:2002
休伦法 (Schlierenmethod)在观察物质流的折射率梯度方面的应用已有相当长的历史。对该方法进行改进 ,将其引入晶体生长的监控领域。介绍了该方法的原理及测量公式 ,并进行了...
[期刊论文] 作者:蔡昕,徐毓娴,张志利,, 来源:光学技术 年份:2001
微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一.对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜Nomarski棱镜的主要参...
[期刊论文] 作者:郑巍,徐毓娴,李庆祥, 来源:机器人 年份:1999
微器件装配技术是微机械的关键技术之一,本文从微器件装配系统的特性和功能出发,提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案,并对系统各个组成部分进行分析,介绍了系统实现的方法......
[期刊论文] 作者:徐毓娴,赵长德,申强, 来源:汽车工程 年份:1999
本文介绍微型集成加速度传感器的原理、结构、伺服电路组成和基本性能,说明了它的典型应用,特别指出它在汽车性能测试中的广阔应用前景。...
[期刊论文] 作者:郑巍,徐毓娴,李庆祥, 来源:光学精密工程 年份:1998
微器件装配技术是微机械的关键技术之一,本文从微器件装配系统的特性和功能出发,提出了一套微装配系统设计方案,并对系统各个组成部分进行分析,介绍了系统实现的方法。Micro-de......
[期刊论文] 作者:李文江,徐毓娴,张志利, 来源:光学精密工程 年份:2001
提出了一种能够对溶液的浓度轮廓进行观察与测量的新的显微成像测量方法--暗场纹影法.这种方法是在纹影法(Schlieren Method)的基础上加以改进后形成的,能够用来对溶液的浓度...
[期刊论文] 作者:李文江,徐毓娴,张志利, 来源:光学仪器 年份:2001
提出了一种在纹影法的基础上加以改进后能够对溶液的浓度轮廓进行观察与测量的新的显微成像测量方法——暗场纹影法。同时给出了该方法原理性实验的观察结果,并与微分干涉显微......
[期刊论文] 作者:许谊, 徐毓娴, 惠梅, 蔡昕,, 来源:光学精密工程 年份:2001
改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维...
[期刊论文] 作者:徐毓娴,董小满,蔡昕,惠梅, 来源:光学技术 年份:2002
相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一。介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式 ,并对其特点进行了分析比较。利用自行...
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